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    抽真空步驟有哪些?
    發布時間:2014-11-29 瀏覽:3087 次

      首先檢查真空容器所處狀態,處于真空下或者處于大氣中。決定了兩種啟動真空設備的程序:第一種,真空下操作程序。第二種,大氣狀態下操作程序。

      1、如果容器處于低真空狀態下,不能立即打開閘板閥以免引起真空油的回流。

      正確的操作步驟是先打開水龍頭,然后打開機械泵,同時打開真空計電源,觀察真空計讀數到達30Pa左右時,再打開分子泵,看到分子泵的工作頻率達到50Hz左右時方可打開閘板閥。

      2、如果容器處于大氣下,首先要做的是檢查大漏,即關閉容器大門和放氣閥。然后打開水龍頭,閘板閥,機械泵,真空計電源,觀察真空計讀數到達30Pa左右時,再打開分子泵。

      3、等到分子泵正常工作后(工作頻率穩定在450Hz),按下真空計中電離計單元的啟動鍵對真空度進行觀測。

      4、在真空達到 Pa時可以打開離子泵,此時先關閉分子泵處的閘板閥,但不要關閉分子泵,等到離子泵的電壓達到4000V時(離子泵穩定工作后)再關掉分子泵,機械泵。

      5、如果不需要維持真空時,先關掉真空計電源,后只需要把離子泵的閘板閥關閉即可,不關閉離子泵,而是讓離子泵處于工作狀態保持其內部環境。

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